無油真空泵工作原理常見的有三種，分别與容積泵、爪泵和低溫泵相似。

    無油真空泵工作原理一種是通過容積變化，在體積大的時候吸入空氣，在體積變小時(壓力變大)排出空氣，容積變化是靠着活動的機械部件來實現的，要求有很小的間隙并且有很高的精度，比如爪泵。

    另一種是依靠非常高的機械動轉速度，将空氣分子定向撞擊而攜帶走，如分子泵。三是低溫泵，在接近零度的冷面上，幾乎所有的空氣分子都被冷凍捕集在表面。

    無油真空泵大的有點是不返油，對被抽空間沒有油蒸汽污染，不噴油，沒有油蒸汽從泵口排出，不污染環境，屬于環保類産品，因此發展前景很好，被稱為二十一世紀“綠色真空泵”。

    無油真空泵又稱幹式泵，主要包括旋片式、活塞式、螺杆式、渦旋式、渦輪式、爪型泵等等。

無油真空泵在日常使用和維護時，需要注意以下事項：

1、應具有充分良好的通風條件及低于40℃的環境溫度。

2、無灰塵及髒物的清潔場所。

3、無水、油等液體會降落到泵上。

4、不直接暴露在陽光裡。

5、有足夠的周圍空間能便于泵的檢查，維護和裝拆。

6、泵必須安裝在平坦的平面上。

7、好将泵放在類似混凝土堅硬的地基上安裝，如果沒有條件，也可将泵牢固地安裝在鋼制或木制的機架上。

8、必須确保泵不因基礎不牢固而引起震動。

9、與泵連接管道不宜過長和小于泵進口徑，影響抽速，同是注意檢查真空連接管道有否漏氣。

10、接電線時，應注意電機銘牌上的規定接線要求。三相電泵要注意電機旋轉方向應與泵上的标示箭頭方向一緻。