簡言之真空熱處理是工件在10-1~10-2Pa真空化學物質中進行升溫到所務必的溫度，接着在不一樣化學物質中以不一樣冷速進行緻冷的熱處理方法。那麼，真空泵系統熱處理務必注意哪些難點呢？

1、真空泵解決合金材料時不宜用N2作為緻冷氣體，由于钛和氮在高溫下反映，構成橘黃色的氮化钛。

2、真空泵活動連接一部分全部采用O型矽膠圈密閉性連接，此一部分均通冷卻循環水。

3、真空泵工件在真空狀況下熱處理，應運用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。

4、真空爐的維護保養應在真空或充純氮狀況下，防止平常不用時吸氣返潮。

5、我國真空爐的壓升率應不超1.33Pa/h，國外一些企業的規範為0.67Pa/h

6、真空升溫以放射性物質核心，工件在爐内内理應锲而不舍間距。

7、真空泵升溫整個過程中工件及爐内原材料會放氣，使真空度降落。

8、真空熱處理、真空熱處理、真空熱處理淬火解決及真空及時性的升溫溫度一般與基礎解決時升溫溫度一樣。

9、真空回火爐理應具有快冷安裝。緻冷水的壓力理應超出0.2Mpa總總流量應可調。

10、緻冷氣體：鋼一般采用百分之二十99.995純度的N2，耐熱合金采用百分之二十99.999的N2或氩氣，合金材料采用百分之二十99.995的氩氣。

11、真空泵放入工件後，一般先預抽至6.67Pa時就可以升溫升溫。

真空熱處理被現如今熱處理界稱作效率高、節能環保和零環境污染的清除熱處理。真空熱處理的零件具有無氧化，無滲氮、除氣、脫脂，使用性能好，變形小，綜合型工藝性能高，效率性好（性能好，使用期穩定）等一系列優點。因此，真空熱處理遭到世界各地廣泛的重視和普遍的應用。并把真空熱處理全民化水準作為考慮一個國家熱處理技術水平的重要标識。真空熱處理專業性是近四十年迄今熱處理制作工藝發展趨向的實時熱點，也是目前智能制造系統專業性的重要制造行業.