一、有油真空泵

　　有油真空泵是通過油密封，潤滑，降溫，這個類型的真空泵可以接受一點水分，而無油真空泵由于葉片材質多是石墨制作的，如果遇到水分，就容易膨脹，損壞，但是無油真空泵用起比較幹淨，在一些環境要求比較高的地方可以使用。

　　二、無油真空泵

　　它的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸内，當轉子高速旋轉時，轉子槽内四個徑向滑動旋片将泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開，周而複始運轉，進行變容，将吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。