當用相對壓強或者表壓強表示的時候，數值前面必須帶負号，表示容器内部壓強比外部壓強低。

4、真空度：處于真空狀态下的氣體稀簿程度，通常用真空度表示。從真空表所讀得的數值稱真空度。真空泵選型時的極限真空度是泵抽速為零的時候所能達到的真空度，必須高于工藝生産要求的真空度，至少要高一個數量級，真空度數值是表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值，從表上表示出來的數值又稱為表壓強，業界也稱為極限相對壓強，并且設備适合在要求的工作真空度範圍内工作。

例如：真空鍍膜要求1×10-5 mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6 mmHg。

通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。

5、極限壓強：壓強即所測内部壓強比”理論真空(理論真空壓強值為0Pa)”高多少壓強。它所比較的對象為理論狀态的真空壓強值。

真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當用真空表示時，數值前面無負号。

6、真空泵工作時産生的振動。

真空泵工作時産生的振動對工藝過程及環境有無影響，對于環境不允許時，可以選擇無振動的泵或者采取減震措施。

7、準确地組合真空泵。

由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，可以把多種泵組合成組合泵，互相補充達成抽氣目的。有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，正确地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣互相補充才能滿足抽氣要求。

前級泵在主泵出口處産生的壓力要比主泵所排出的大排氣壓力低，前級泵應保證能夠及時排出主泵所排出的氣體，Z後，兼作預抽泵的前級泵要滿足預抽時間和預抽真空度的要求。

8、所選真空泵的價錢、運行及維護費用。

真空泵選型過程中，多種真空泵能同時滿足工藝需求時，要進行成本和運轉費用的經濟性分析，選用經濟性好，運行可靠，維修量小，使用與維修方便的真空泵。

9、正确地選擇真空泵的工作點。

每種泵都有一定的工作壓強範圍，

例如：擴散泵為10-3 ~10-7 mmHg，在這樣寬壓強範圍内，泵的抽速随壓強而 變化，其穩定的工作壓強範圍為5×10-4~5×10-6 mmHg。

因而，泵的工作點應該選在這個範圍之内，而不能 讓它在10-8mmHg下長期工作。又如钛升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于1×10-5 mmHg為好。

10、真空設備對油污染的要求。 若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障闆、擋 油阱等，也能達到清潔真空要求。

11、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。 選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。·

12、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。 如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

13、真空泵工作時産生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。